低温等离子设备电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

低温等离子体去除污染物的机理
等离子体化学反应过程中，低温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下：

（1）电场+电子 → 高能电子
（2）高能电子+分子(或原子) → (受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
（3）活性基团+分子(原子) → 生成物+热
（4）活性基团+活性基团 → 生成物+热。